Elektronenmikroskopie und Nanoanalytik: Elektronenenergieverlustspektroskopie und energiefilternde Transmissionselektronenmikroskopie

Die energiefilternde Transmissionselektronen-mikroskopie (EFTEM), die auf dem Prinzip der Elektronenenergieverlustspektroskopie (EELS) aufbaut, ist eines der leistungsfähigsten Werkzeuge in der modernen Werkstoffanalytik. Mit dieser Technik kann man Korrelationen zwischen Struktur, Chemismus und physikalischen Eigenschaften eines Materialsystems mit Nanometerauflösung herstellen. Das Einsatzgebiet reicht von Biomaterialien über Legierungswerkstoffe bis hin zu Halbleiterbauelementen.

In diesem Kurs an der TU Graz erwerben Sie umfassenden theoretische und praktische Kenntnisse über die Grundprinzipien der EELS und EFTEM Technik.

Inhalte und Schwerpunkte

Der Kurs gliedert sich in folgende Bereiche:

• EELS: EEL-Grundlagen, Aufnahme von EEL-Spektren, Analyse von EEL-Spektren, quantitative Aspekte, praktische Aspekte
• EFTEM: EFTEM-Grundlagen, Aufnahme von EFTEM-Bildern, Optimierung der Energiefiltereffizienz, praktische Aspekte
• Instrumentelle Aspekte
• Spectrum Imaging Techniken
• Fortgeschrittene Bild- und Datenverarbeitung
• Weitere Spezialthemen, die im Interesse der Kursteilnehmerinnen und -teilnehmer liegen

Zielgruppen und Zulassungsvoraussetzungen

Der Kurs richtet sich an Wissenschafterinnen und Wissenschafter sowie Technikerinnen und Techniker, die über Grundkenntnisse in der Transmissionsmikroskopie verfügen und Wissen über EELS und EFTEM als analytische Techniken aufbauen oder erweitern möchten. Für die Teilnahme an diesem Kurs benötigen Sie Grundkenntnisse in der Transmissionselektronenmikroskopie.